●耐久性に優れたアルミニウムを精密加工し、表面はブラックアルマイト仕上げです。
●高精度クロスローラーガイドの採用により、精度に優れ、耐荷重が向上し長寿命です。
●高精度のベースとテーブルにより、テーブルの真直度、ヨー、ピッチ、平行移動を保証します。
●変位調整はマイクロメータヘッドまたは差動マイクロメータヘッドを使用して行います。
●微細な分解能を備えた高精度マイクロメータヘッドにより、ナノメートルスケールでの微小変位調整が可能です。
●マイクロメータヘッドを並進ステージ上に横置きし、よりコンパクトな構造となっています。
●スプリングリターン機構の採用によりアキシアル隙間を解消します。
●テーブル、ベースともに標準間隔の取付穴が付いており、設置、組立が容易です。
●他の変位ステージシリーズとシームレスに統合し、多次元の調整フレームワークを構築できます。
●グレーチング定規の搭載により、微小な変位測定値の表示が可能です。
モデル | WN101TM13M | WN102TM13M | WN103TM13M | WN104TM13M | |
テーブルサイズ | 40×40mm | 40×40mm | 60×60mm | 60×60mm | |
アクチュエータの種類 | マイクロメータヘッドタイプ | マイクロメータヘッドタイプ | マイクロメータヘッドタイプ | マイクロメータヘッドタイプ | |
マイクロメータヘッドの位置 | 中心 | 側 | 中心 | 側 | |
移動距離 | ±6.5mm | ±6.5mm | ±6.5mm | ±6.5mm | |
最小読み出し値(解像度) | 10μm | 10μm | 10μm | 10μm | |
最小調整距離 | 3μm | 3μm | 3μm | 3μm | |
位置精度 | 4μm | 4μm | 4μm | 4μm | |
旅行ガイド | 精密V溝&クロスローラー | 精密V溝&クロスローラー | 精密V溝&クロスローラー | 精密V溝&クロスローラー | |
耐荷重(水平方向) | 5kg | 8kg | 10kg | 10kg | |
真直度 | 3μm | 2μm | 2μm | 2μm | |
ピッチング | 25インチ | 25インチ | 25インチ | 25インチ | |
ヨーイング | 15インチ | 15インチ | 15インチ | 15インチ | |
平行度 | 15μm | 15μm | 15μm | 15μm | |
駆動平行度 | 8μm | 7μm | 7μm | 7μm | |
許容モーメント荷重(Nm) | ピッチング | 2.7Nm | 2.7Nm | 2.7Nm | 2.7Nm |
ヨーイング | 2.2Nm | 2.2Nm | 2.2Nm | 2.2Nm | |
圧延 | 2.0Nm | 2.0Nm | 2.0Nm | 2.0Nm | |
モーメント剛性 | ピッチング | 0.38″/N・cm | 0.38″/N・cm | 0.38″/N・cm | 0.38″/N・cm |
ヨーイング | 0.42″/N・cm | 0.42″/N・cm | 0.42″/N・cm | 0.42″/N・cm | |
圧延 | 0.28″/N・cm | 0.28″/N・cm | 0.28″/N・cm | 0.28″/N・cm | |
重さ | 0.14kg | 0.24kg | 0.25kg | 0.4kg | |
材料 | アルミニウム合金 | アルミニウム合金 | アルミニウム合金 | アルミニウム合金 | |
仕上げ(表面処理) | 黒アルマイト処理 | 黒アルマイト処理 | 黒アルマイト処理 | 黒アルマイト処理 | |
●クロスローラーベアリング設計で精密な動きと大きな耐荷重を実現●全機種ロック可能 ● 広範な干渉品質テスト ●左右兼用のリバーシブルです。 ● Newport 手動および電動アクチュエーターと互換性があります。 ● 積み重ねて薄型多軸位置決めが可能 |