●クロスローラーベアリング設計により、正確な動作と大きな耐荷重を実現します。
●全機種ロック可能です。
● 広範な干渉品質テスト
●左右兼用のリバーシブルです。
● Newport 手動および電動アクチュエーターと互換性があります。
● 積み重ねて薄型多軸位置決めが可能
モデル | WN113TM25M | WN115TM50M | WN116TM50M | |
テーブルサイズ | 53×53mm | 100×100mm | 110×100mm | |
アクチュエータの種類 | マイクロメータヘッドタイプ | マイクロメータヘッドタイプ | マイクロメータヘッドタイプ | |
マイクロメータヘッドの位置 | 中心 | 中心 | 側 | |
移動距離 | ±12.5mm | 50mm | 50mm | |
最小読み出し値(解像度) | 10μm | 10μm | 10μm | |
最小調整距離 | 2μm | 2μm | 2μm | |
位置精度 | 3μm | 3μm | 3μm | |
旅行ガイド | 精密V溝&クロスローラー | 精密V溝&クロスローラー | 高精度リニアレール | |
耐荷重(水平方向) | 15kg | 40kg | 40kg | |
真直度 | 3μm | 5μm | 5μm | |
ピッチング | 25インチ | 25インチ | 25インチ | |
ヨーイング | 20インチ | 15インチ | 15インチ | |
平行度 | 25μm | 10μm | 10μm | |
駆動平行度 | 10μm | 15μm | 15μm | |
許容モーメント荷重(Nm) | ピッチング | 2.7Nm | 2.7Nm | 2.7Nm |
ヨーイング | 2.2Nm | 2.2Nm | 2.2Nm | |
圧延 | 2.0Nm | 2.0Nm | 2.0Nm | |
モーメント剛性 | ピッチング | 0.38″/N・cm | 0.38″/N・cm | 0.38″/N・cm |
ヨーイング | 0.42″/N・cm | 0.42″/N・cm | 0.42″/N・cm | |
圧延 | 0.28″/N・cm | 0.28″/N・cm | 0.28″/N・cm | |
重さ | 0.47k | 1.1kg | 1.1kg | |
材料 | アルミニウム合金 | アルミニウム合金 | アルミニウム合金 | |
仕上げ(表面処理) | 黒アルマイト処理 | 黒アルマイト処理 | 黒アルマイト処理 | |
●高精度クロスローラーガイドを使用しており、高精度、高耐荷重、長寿命です。 ●精密加工されたベースとテーブルにより、平行移動ステージの走行真直度、ヨー、ピッチ、移動平行度を一定の精度範囲内に収めています。 ●変位調整はマイクロメータヘッドまたは差動マイクロメータヘッドを採用 ●分解能が小さいため、テーブル上での微小送りが保証されます。 ●マイクロメータヘッドが並進ステージの中央に配置されており、操作が容易です。 ●スプリングリターンを採用し、アキシアル隙間を解消します。 ●テーブルとベースには標準間隔の取り付け穴が付いており、設置や組立が簡単です。 ●他のシリーズの変位ステージと組み合わせて多次元調整フレームを構成できます。 |