移動範囲
20mm
解決
0.125μm
再現性
＜1μm
真直度
＜2μm
平行度
＜5μm
ピッチング
10インチ（50μrad）
ヨーイング
最大速度
5mm/秒
負荷容量
10kg
重さ
1.5kg
