ミニステージ：WN264TA25H

主な特長

• 非接触ダイレクトドライブシステムにより、高いダイナミクスと信頼性を備えた超精密動作を保証します
• 発熱を最小限に抑える超大型高効率リニアモーター
• 鉄を使わないムービングコイルにはコギングがなく、非常にスムーズな速度制御を実現します。
• 超静音アンチクリープクロスローラーベアリングにより、ケージの移動がなくリップルのない動作が保証されます。
• 高精度ガラススケールエンコーダにより、再現性 50 nm の正確な位置フィードバックが提供されます。
• サブ nm 分解能で補間誤差が低く、優れた速度安定性と動作感度を実現
• ステージ内でケーブルが移動しないため、パーティクルの発生が減少し、信頼性が向上します。